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Varia

L’Institut d’électronique fondamentale, cinquante ans d’histoire

The “Institut d’électronique fondamentale” throughout the last fifty years
Suzanne Laval
p. 70-81

Résumés

L’Institut d’électronique fondamentale et l’un des premiers laboratoires implantés à Orsay et il a été associé au CNRS dès 1966. Il a joué un rôle moteur dans la mise en place de l’enseignement en électronique et a toujours allié des recherches très fondamentales à un souci d’aller le plus loin possible dans le développement des applications. Cet article retrace l’évolution de la vie du laboratoire au cours des cinquante dernières années.

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Texte intégral

De l’implantation à Orsay à l’association au CNRS

  • 1 La vie et l'œuvre de Pierre Grivet, André Blanc-Lapierre, La Vie des Sciences, Comptes rendus, séri (...)
  • 2 René Bimbot, « Les années Joliot », La revue pour l’histoire du CNRS, n°16 | 2007, http://histoire- (...)

1Le laboratoire créé par Pierre Grivet1 s’est implanté sur le campus d’Orsay en 1962. L’université, qui était alors une antenne de la Faculté des sciences de Paris, était en plein essor. L’Institut de physique nucléaire, créé par Irène et Frédéric Joliot-Curie2, y était installé depuis 1955 et les premiers étudiants étaient arrivés en 1958. Les premières expériences sur l’accélérateur linéaire dataient de 1959, année qui avait vu aussi la création du Laboratoire de physique des solides par André Guinier, Jacques Friedel et Raimond Castaing, amis de Pierre Grivet. Le contexte était donc très favorable pour le développement du laboratoire qui devait devenir l’Institut d’électronique fondamentale (IEF) lors de son association au CNRS en 1966. Le bâtiment d’environ 8 000 m2 hébergeait non seulement le « laboratoire Grivet » mais aussi au second étage les équipes des professeurs Marcel Rouault et Roger Arnould. Une partie des locaux était réservée pour l’enseignement en électronique, qui a toujours été une composante fortement associée au laboratoire. Le couplage fort entre l’enseignement et la recherche est en effet depuis toujours un élément essentiel pour le recrutement de jeunes chercheurs et enseignants-chercheurs d’excellent niveau, venant renforcer le potentiel du laboratoire. Notons à ce sujet que Pierre Grivet a été pionnier et moteur dans le développement de la filière EEA (Électronique, Électrotechnique, Automatique) y compris au niveau national, en facilitant le départ de nombreux enseignants de l’IEF vers la province.

  • 3 "Les origines de l'Institut d'Électronique Fondamentale d'Orsay, de 1949 à 1962 : une histoire vécu (...)

2L’effectif d’une trentaine de permanents s’est rapidement accru avec le développement de nouveaux thèmes de recherche. Les activités antérieures3 de ce groupe de recherche étaient essentiellement centrées d’une part sur les techniques de résonance électronique (RPE : Résonance Paramagnétique Électronique) et nucléaire (RMN : Résonance Magnétique Nucléaire ; RQN : Résonance Quadrupolaire Nucléaire) et d’autre part sur l’optique corpusculaire, avec entre autres la réalisation de ce que l’on peut considérer comme l’ancêtre du microscope électronique. Des premières études sur les matériaux irradiés avaient été entreprises dans le silicium avec les thèses d’André Vapaille et de René Castagné.

  • 4 Au millième de degré absolu, un nouvel état de la matière: la superfluidité anisotrope de l'hélium- (...)

3À l’arrivée à Orsay, l’installation d’un liquéfacteur hélium-hydrogène a été le point de départ des études autour des très basses températures. Les équipements étaient importants puisqu’ils comportaient des compresseurs pour l’hélium et l’hydrogène, des pompes pour l’azote et l’hydrogène gazeux et des gazomètres. Ces matériels avaient été récupérés à l’École des Mines par le Professeur Grivet et Guy Ouradou en a assuré la mise en œuvre et a été responsable de ce service jusqu’à sa fermeture en 1998. Un réseau de récupération de l’hélium gazeux a été installé dans tous les étages du bâtiment. Pour la liquéfaction de ces gaz, il était indispensable de disposer d’azote liquide. Le laboratoire avait acquis un liquéfacteur d’azote installé au sous-sol à côté de la station de récupération d’hélium. En janvier 1963 le liquéfacteur était opérationnel et produisait de l’hélium et de l’hydrogène liquide pour les besoins des équipes de recherche du laboratoire. Les cryostats à hélium 3 réalisés par Henri Benoit et Jean-Pierre Renard et ceux à dilution He3/He4 par Eric Varoquaux ont permis d’atteindre des températures inférieures à 4 Kelvin, jusqu’à quelques centièmes de Kelvin4. Ce fut aussi le début des travaux sur la supraconductivité avec la réalisation de bobines supraconductrices délivrant des champs intenses pour la RMN haute résolution, activité développée par Michel Sauzade et l’étude de cavités supraconductrices à haut facteur de qualité animée par Albert Septier avec Viet Nguyen-Tuong et Francis Biquard.

4En 1963, la 3e Conférence internationale d’électronique quantique se tenait à Paris et Pierre Grivet était le président de son comité d’organisation. Il avait déjà initié des études sur les masers et lancé en 1961-1962 la réalisation d’un maser à hydrogène avec Claude Audouin, ce qui sera le noyau de la section d’Orsay du Laboratoire de l’horloge atomique créée en 1964. Dans le même temps, alors que l’effet laser venait à peine d’être démontré5, il avait demandé à Germain Chartier de commencer des études dans ce domaine : des lasers à verre au néodyme et à rubis ont été construits au laboratoire6. Ce sont ensuite des lasers à gaz avec Jean-François Delpech. Les compétences en optique corpusculaire d’Albert Septier ont été mises à profit pour le développement de sources d’ions autour de Guy Gautherin7. Des activités de recherche ont également été lancées sur les collisions ions-gaz avec Jacques Baudon et Michel Barat, et sur les plasmas avec André Bouchoule et Michel Weinfeld.

5Pierre Grivet entretenait de très bonnes relations avec le CNRS, qui avait déjà accordé à l’IEF un certain nombre de postes de chercheurs et c’est ce panorama d’activités qui est présenté à la commission d’électronique du CNRS en 1965 pour la demande d’association. Le laboratoire devient en 1966 l’Institut d’Electronique Fondamentale (IEF), laboratoire associé LA 22, dirigé par Pierre Grivet, Albert Septier étant directeur adjoint. Les recherches sont organisées en quatre grands domaines :

  • Le groupe A dirigé par Albert Septier, regroupe les activités dérivant de l’optique corpusculaire (lentilles électroniques, dynamique des accélérateurs de particules, sources d’ions, interactions faisceaux-plasmas, collisions ions-gaz), et celles portant sur les cavités supraconductrices. L’activité nouvelle concernant les lasers à solide y est insérée.

  • Le groupe B animé par Henri Benoit et Joseph Seiden regroupe les travaux basés sur les techniques de résonance (résonance électronique, résonance quadrupolaire, R.M.N.) appliquées à différents types de matériaux, avec des études de relaxation à basse température, Joseph Seiden se concentrant plus spécifiquement sur les problèmes théoriques en magnétisme.

  • Le groupe C, sous la direction de Michel Sauzade, se consacre à l’obtention de champs magnétiques intenses, avec des bobines supraconductrices, et au développement d’instrumentation électronique (multiplicateur de fréquence, générateur radiofréquence, oscillateurs) pour la RMN.

  • Le groupe D est dirigé par Bernard Picinbono qui travaille en optique statistique et encadre les travaux sur les interactions laser-gaz, les défauts d’irradiation dans les solides et les masers à ammoniac.

6Le rapport d’activité rédigé en 1966 fait état de 105 chercheurs « qualifiés » dont la plupart préparaient encore leur thèse d’état ou venaient de la passer. La moyenne d’âge était très faible. Une vingtaine de stagiaires et 15 techniciens complétaient l’effectif. La demande de moyens cette année-là mentionnait comme souhaitable 49 nouveaux postes de techniciens et 1 poste d’ingénieur, avec une demande ferme de 14 postes. Cette demande a été entendue par le CNRS et l’enseignement supérieur puisqu’en 1969 on comptait globalement 4 ingénieurs et 39 techniciens, dessinateurs et ouvriers, auxquels se joignaient 7 personnels administratifs et 11 personnels de service (gardiens, femmes de ménage, chauffeurs, garçons de laboratoire) répartis sur 29 postes CNRS, 23 de l’enseignement supérieur et 9 sur contrats. Parmi les stagiaires, plusieurs jeunes normaliennes, premières femmes à venir à l’IEF faire de la recherche, ce qui ne manquait pas d’étonner un peu ces messieurs, d’autant que la première des choses que l’on apprenait pour monter une expérience était l’utilisation des machines-outils.

7L’année 1966 a aussi été marquée par une forte crue de l’Yvette qui a provoqué la première inondation du sous-sol par plus d’un mètre d’eau, noyant plus ou moins les expériences qui y étaient installées (et qui étaient réalisées dans des conditions de salubrité et de sécurité loin des normes actuelles !).

Mai 68 et ses conséquences

  • 8 "Le budget du CNRS de 1960 à 2000", Bruno Marnot, La revue pour l'histoire du CNRS, n° 26, 2010, pp (...)

8Les événements de Mai 1968 ont naturellement perturbé la vie du laboratoire. Des assemblées générales se sont tenues dans le grand amphithéâtre du bâtiment. L’explosion du désir de démocratie a conduit quelques personnes à bloquer l’entrée de la salle où Pierre Grivet avait convoqué les responsables de groupe, pour lui demander que des représentants des personnels soient dorénavant présents dans ce type de réunion. C’étaient les prémices du conseil de laboratoire, qui apparaît dans la proposition de structure de laboratoire établie par des assemblées de chercheurs et de techniciens tenues les 21, 22 et 23 mai 1968. Tout en reconnaissant que l’évolution s’était faite dans une atmosphère de coopération et d’optimisme, P. Grivet note que « l’activité de restructuration et de réorganisation consécutive aux événements de mai 68 a amené un retard notable de l’ordre de trois à six mois dans la réalisation des expériences ». Cette période mouvementée a aussi vu le début du ralentissement de la croissance des crédits publics8 auquel il a fallu s’adapter.

Les années 1970

9Les besoins en fluides cryogéniques ayant considérablement augmenté, Michel Sauzade, qui supervisait le service cryogénie depuis son origine, décida en 1968 d’acquérir un nouveau liquéfacteur d’hélium. Alors que le précédent ne pouvait fonctionner qu’avec la présence d’un technicien, cette unité alimentée en gaz pur pouvait produire en continu pendant plusieurs jours avec un rendement de 10 litres par heure. Les besoins en azote liquide nécessaire à la liquéfaction de l’hélium ont justifié l’implantation d’un réservoir cryogénique de 3 000 litres et en 1975 un deuxième liquéfacteur d’azote a été installé. Un deuxième technicien, Michel Huissier est venu seconder Guy Ouradou.

10L’organisation des groupes a été modifiée avec l’entrée dans le laboratoire du groupe du Professeur Rouault qui travaillait sur la diffraction électronique et l’éclatement du groupe de Bernard Picinbono, Jean-François Delpech prenant la responsabilité du groupe d’électronique dans les gaz, Michel Barat celle des collisions ions-atomes et André Vapaille se chargeant des semi-conducteurs. En 1970, l’extension du bâtiment par la construction d’une nouvelle aile, destinée en partie au regroupement du Laboratoire de l’horloge atomique sous la direction d’Alfred Kastler, a permis de réorganiser la répartition des locaux entre les équipes de l’IEF en disposant de surfaces supplémentaires.

  • 9 J-C. Risset a reçu la médaille d’or du CNRS en 1999 pour l’ensemble de ses travaux

11P. Grivet avait le souci de la carrière de ses « élèves » et a facilité le départ de nombre d’entre eux vers des postes d’enseignants en province (après les départs dans les années 1960-1970 de Pierre Davy, Jacques Hervé, Yves Garrault, Henri Ottavi, Michel Abignoli, Pierre Daumezon, Pierre Piéjus, en 1970 ce sont Jacques Conard, Etienne Boileau, Jean-Paul Schermann, Albert Papiernik et Francis Biquard, puis Jacques Marcou en 1973, Germain Chartier en 1974, etc.). Cet essaimage à partir de l’IEF a été essentiel dans l’émergence et le développement des thématiques « EEA » (Électronique, Électrotechnique, Automatique) dans l’enseignement et la recherche sur l’ensemble du territoire. Ce sont aussi plusieurs groupes constitués qui ont quitté le laboratoire : Bernard Picinbono vers SupElec et André Bouchoule et Michel Weinfeld vers la toute neuve École Polytechnique en 1973, Michel Barat pour créer le Laboratoire des collisions atomiques en 1977 et Eric Varoquaux pour le Laboratoire de physique des solides en 1979. Ces départs ont évidemment eu un impact important sur l’évolution des thèmes de recherche, en même temps que se faisait sentir une pression croissante pour suivre les directives du 5e plan pour la recherche. L’orientation vers des recherches plus appliquées a conduit à un ancrage plus net du laboratoire dans le domaine des Sciences pour l’Ingénieur, en plein développement avec la création au CNRS d’un département portant ce nom en 1975. Les principaux thèmes de recherche portent alors sur la RMN à très basse température ou haute résolution avec en particulier des études approfondies des transitions de phases magnétiques, sur l’obtention de très basses températures ce qui permet le développement de recherches sur l’effet Josephson, sur les sources d’ions avec des perspectives nouvelles d’élaboration de couches minces, sur l’électronique dans les gaz ionisés avec le développement d’équipements de mesure particulièrement performants pour étudier les signaux rapides, ou encore sur la génération de rayonnement infra-rouge cohérent par battement entre deux lasers. L’électronique plus classique tient aussi une grande place : c’est le début des études sur l’épitaxie de composés III-V avec dopage par implantation d’ions, le développement de l’optoélectronique associant les compétences en lasers et en semi-conducteurs, et la mise en œuvre de méthodes de simulations numérique de plus en plus sophistiquées pour comprendre ou prédire le fonctionnement de nouveaux dispositifs électroniques. L’installation d’une « machine à calculer » Hewlett-Packard en 1971 marque le début d’une activité « informatique », avec en particulier les travaux précurseurs de Jean-Claude Risset9 en informatique musicale, travaux poursuivis après son départ par Gérard Charbonneau.

12En 1975 l’IEF présentait à la 65e Exposition de physique un magnétomètre Josephson de l’équipe de Michel Sauzade et son application à la mesure du champ émis par le cœur, un analyseur-synthétiseur de sons par ordinateur développé par Jean-Claude Risset et Gérard Charbonneau, et un laser à colorant pompé par laser à azote conçu et réalisé par René Laval. Les travaux sur la logique Josephson ont été récompensés par la médaille d’argent décernée à Robert Adde en 1982.

13Après la retraite du Pr Rouault, son équipe a quitté le laboratoire en 1977. Les locaux laissés vacants ont rapidement été repris pour y installer plus confortablement les expériences d’optoélectronique rapide et les sources d’ions. André Vapaille a commencé à installer la première « chambre propre » pour la technologie des semi-conducteurs, qui s’est agrandie pour devenir une « centrale de préparation de microcircuits solides » dans laquelle des opérations élémentaires de nettoyage des substrats, dépôt de couches minces, photogravure et traitement thermique pouvaient être réalisées.

  • 10 Rapport d'activité 1977-1978 de l'IEF, message du Directeur

14L’inondation des locaux des 20 et 21 mars 1978 a été lourde de conséquences. P. Grivet la décrit en ces termes10 : « Le dimanche 20 mars après-midi, commençait brutalement une inondation qui dès la soirée amenait plus de 60 cm d’eau dans les sous-sols de l’IEF. Le niveau atteignait un mètre le lundi matin 21 mars, ce qui interdisait tout accès aux appareils, produits et machines, qui se trouvaient alors tous piégés dans l’eau noire. Une très brusque recrudescence de la pluie, dans l’après-midi puis dans la soirée de lundi, faisait de cette inondation une dure catastrophe pour l’IEF : les dégâts étaient finalement bien plus considérables qu’en janvier 1966, où l’eau n’avait pas atteint la platine à bornes du transformateur haute tension, tandis que cette année, cette plaque – et même la prise d’aération qui la surmonte – fut complètement submergée. Les précautions prises après 1966 par l’architecte de l’Université se sont avérées complètement inefficaces (la galerie d’arrivée des fluides avait été murée mais restait perméable), tout comme les prévisions de l’Administration qui considérait ce type d’accident comme séculaire (ce qui était historiquement vrai pour celle de 1966 car le précédent événement de ce genre s’était produit en 1866) ». Alors que l’eau commençait à monter, Guy Gautherin était allé couper l’alimentation électrique au niveau des transformateurs au sous-sol, mais ceux-ci ont été irrémédiablement endommagés et le laboratoire a été privé d’électricité pendant plusieurs mois. Peu d’expériences étaient encore au sous-sol à cette époque, mais les cristaux qui y étaient patiemment préparés par Jean-Pierre Renard avaient fondu. C’est après cette inondation qui avait aussi touché des habitations que les bassins de retenue de Bures et Gif sur Yvette ont été creusés.

L’IEF après P. Grivet : les années 1980

15Albert Septier étant parti au CNAM en 1978, c’est Michel Sauzade qui l’a remplacé comme directeur-adjoint, et qui a pris progressivement une part de plus en plus importante dans la direction du laboratoire. Il en est devenu officiellement le directeur à la retraite de Pierre Grivet, en 1981. Suzanne Laval lui a succédé en 1986.

  • 11 Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes.
  • 12 Centre hyperfréquences et semi-conducteurs, devenu l'Institut d'électronique, de microélectronique (...)

16C’est en 1980 que l’IEF a formalisé un projet de création d’une centrale de technologie pour la microélectronique sur semi-conducteurs III-V. À l’époque peu de moyens technologiques existaient dans les laboratoires universitaires français pour soutenir les recherches dans ce domaine. Seuls le Laas11 à Toulouse sous la direction de Jean Lagasse et le CHS12 à Lille avec Eugène Constant avaient déjà mis en place un certain nombre d’équipements. De nombreux contacts ont été pris pour définir au mieux les équipements nécessaires et le projet est chiffré au cours de l’année 1981. L’obtention des financements semblait en bonne voie. Mais en février 1982, si le ministère des Universités et celui de la Recherche et Technologie s’accordaient sur le principe de la construction d’une centrale de technologie dédiée aux semi-conducteurs III-V en région parisienne, les modalités et le lieu d’implantation ont brutalement été remis en question. Dans le courant de l’année 1982 se dégageait le projet de création d’un laboratoire dans l’enceinte du Cnet à Bagneux. L’IEF, l’ENS, les laboratoires de physique des solides de Bellevue et de Paris devaient y transférer des personnels. D’âpres discussions suivirent. L’IEF adopta une position a minima, mais fut sommé d’y détacher des personnels chercheurs et techniciens, sous peine de voir son existence menacée à Orsay. Le Laboratoire de microélectronique et microstructures (L2M) fut créé comme laboratoire propre du CNRS à Bagneux le 1er janvier 1984. Deux chercheurs et deux techniciens de l’IEF y furent affectés.

17Dans le même temps, l’IEF se démarquait en présentant dès 1984 un projet de création à l’université Paris-Sud d’un « Centre interdisciplinaire de formation avancée aux techniques nouvelles en microélectronique ». L’objectif était d’en faire un centre très ouvert, palliant l’éloignement du L2M du milieu universitaire et, en complémentarité, offrant aux étudiants ou à des personnes extérieures, dans le cadre de formations continues, la possibilité de se familiariser avec les technologies de la microélectronique. Les moyens mis en œuvre, centrés sur des technologies dites « froides » s’appuyaient sur les recherches effectuées dans ce domaine au laboratoire. Ce projet, élaboré par Guy Gautherin et René Castagné, a rapidement pris corps avec l’appui initial d’IBM et de Thomson-CSF, auxquels se sont joints par la suite d’autres industriels, et avec l’aide de la région Ile-de France, puis du CNRS et du ministère de l’Enseignement supérieur. Le Ceetam (Centre d’études et d’enseignement des techniques avancées de microélectronique), dirigé par André Vapaille, disposait alors de 150 m2 de salles blanches. Ouvert vers l’extérieur, il offrait, en plus des formations, des activités de service pour les PME-PMI et les autres laboratoires de recherche. Les premiers stages de formation ont lieu dès 1985, les salles blanches sont achevées au début de 1986, et l’inauguration officielle a lieu le 16 janvier 1987.

18Autres turbulences dans cette période, la mise en application de la loi de 1982 sur les 39 heures de travail hebdomadaire qui a donné lieu jusqu’en novembre 1983 à quelques tiraillements entre la direction du laboratoire et les personnels.

19Sur le plan scientifique, les thèmes de recherche se sont resserrés autour de deux grands axes : la microélectronique qui regroupait environ 60 % des activités du laboratoire, et le traitement du signal, imagerie et instrumentation. Certaines activités, comme celles concernant la supraconductivité, l’effet Josephson ou encore l’électronique de puissance ont été progressivement abandonnées au profit de nouvelles directions de recherche.

  • 13 P. GARDA, F. DEVOS, Rétines électroniques programmables, Le courrier du CNRS, Vol. 76, p. 106 (1990

20C’est en 1980 que sous l’impulsion de Michel Sauzade une nouvelle équipe s’était formée autour de Francis Devos pour développer l’utilisation des microprocesseurs et l’étude d’architecture de circuits intégrés qui s’est concrétisée par la réalisation d’une rétine « intelligente »13. En collaboration avec d’autres laboratoires, l’Atelier de microélectronique d’Orsay a été créé pour aider les industriels à utiliser les microprocesseurs dans les processus d’automatisation.

  • 14 C. DUPAS, P. BEAUVILLAIN, C. CHAPPERT, J. P. RENARD, F. TRIGUI, P. VEILLET, E. VÉLU, AND D. RENARD, (...)

21Ces années ont marqué le début des recherches sur les films magnétiques ultra-minces. L’étude du magnétisme des couches minces de cobalt a permis de mettre en évidence l’importance de l’anisotropie d’interface. Dès 1985 l’équipe de Jean-Pierre Renard, avec Claude Chappert, a mis en œuvre des mesures de magnétorésistance14. Leurs résultats sont les prémices de la découverte de la magnétorésistance géante qui vaudra le prix Nobel à Albert Fert.

  • 15 G. GAUTHERIN, C. SCHWEBEL, Deposition of thin films by ion beam sputtering : mechanisms and epitaxi (...)
  • 16 R. P. De CARVALHO, N. DJEBBAR, J. GUTIERREZ, A. VAPAILLE, Silicon MBE : use of microion source for (...)

22Parallèlement, les recherches orientées vers l’élaboration de matériaux se sont développées avec l’utilisation des sources d’ions mises au point dans le groupe de Guy Gautherin pour des procédés technologiques comme la gravure ou l’élaboration de couches minces15, et la mise en place par André Vapaille d’une expérience d’épitaxie par jets moléculaires avec des plans de dopage obtenus in situ par implantation pour la réalisation de microstructures en silicium16. La société Plasmion est créée en 1989 pour commercialiser les sources d’ions.

  • 17 S. LAVAL, C. BRU, C.ARNODO, R.CASTAGNE, Velocity overshoot investigations in sub-micron devices by (...)

23La mise en œuvre, autour de Philippe Dollfus, de modèles particulaires pour explorer les performances des composants électroniques submicroniques a conduit à une compréhension de plus en plus approfondie des phénomènes physiques mis en jeu. Dans le même temps, la collaboration entre René Castagné et Suzanne Laval a permis d’obtenir, par des mesures de photoconduction, la seule démonstration expérimentale de l’existence de la survitesse et du transport balistique des électrons dans les dispositifs submicroniques en arséniure de gallium17.

  • 18 P. CHAVEL, S. LAVAL, J. TABOURY, L'Optique dans l'Ordinateur, Rev. Phys. Appl., 22, (1987), 1215.

24C’est également dans cette décennie qu’on a parlé de « l’ordinateur optique »18. Les études sur des commutateurs optiques ultra-rapides et sur des dispositifs bistables optiques menées dans l’équipe de Suzanne Laval ont été intégrées dans le premier contrat financé par la Commission européenne pour stimuler les échanges scientifiques et techniques. Ce sont les débuts de l’optique guidée sur silicium.

25Conscients du nécessaire renouvellement des thématiques du laboratoire, un ambitieux programme sur les technologies assistées par laser, pour la microélectronique, est proposé en 198519 et trouve son développement avec l’arrivée de Jean-Pierre Budin au laboratoire en 1986, rejoint par Jacques Boulmer après le départ pour l’École polytechnique de l’équipe « Électronique dans les gaz » de J-C. Gauthier.

26La dynamique des lasers à semi-conducteurs étudiée dans le groupe de Jean-Michel Lourtioz a conduit à un record mondial dans la génération d’impulsions ultra-brèves (160 fs) à partir d’une diode laser20. Les premières structures à puits quantiques dans les semi-conducteurs III-V, à base d’arséniure de gallium ou de phosphure d’indium, ont donné lieu à une abondante littérature et l’IEF a lancé des études dans ce domaine21.

27Les travaux en instrumentation RMN initiés par M. Sauzade se sont orientés vers l’imagerie22 et les premières images en microscopie RMN ont été observées en 1986. Un imageur de grande dimension (« corps entier ») a été mis en place et la société Magnétech a été créée pour la commercialisation des imageurs médicaux. Malgré les excellentes performances obtenues pour un coût limité, ce projet a été desservi par une rivalité sous-jacente avec le CEA ; les autorisations de mise sur le marché n’ont pas été délivrées par le gouvernement, qui a privilégié les importations de matériel de General Electrics.

28Au milieu des années 1980, malgré ces très bons résultats scientifiques, le laboratoire a conservé les traces de sa résistance à la création des moyens technologiques au L2M et peine à se faire reconnaître dans la politique du CNRS. Les ressources contractuelles prennent une part de plus en plus importante dans le budget global (hors salaires), elles en représenteront environ 60 % en 1988. C’est dans ce contexte que, lors du renouvellement de l’association au CNRS, en 1986, Suzanne Laval succède à Michel Sauzade à la direction du laboratoire. Le rôle de l’administratrice Nicole Robin est alors capital dans la transition en assurant la continuité des dossiers en cours dans un contexte de forte évolution de la microélectronique et de renforcement des relations avec le secteur industriel. La nouvelle direction cherche d’emblée à rajeunir l’image de l’IEF, par exemple en créant un logo et une nouvelle présentation des cartes de visite et du papier à lettre. Les secrétariats des différents groupes, qui existaient encore à l’époque, sont dotés des premiers ordinateurs dans le courant de l’année 1988. L’informatisation arrive aussi au niveau du CNRS avec la première version de l’enquête Labintel. Pour y répondre, un laboratoire de la taille de l’IEF doit saisir quelques 800 pages de Minitel…

La réorganisation du laboratoire

29Partant du constat que les groupes existants étaient directement issus de l’histoire et compte tenu de la réorientation progressive des activités, Suzanne Laval décide en 1988 de lancer une réflexion sur l’organisation et le fonctionnement du laboratoire. Elle met une place une commission interne formée de représentants élus par les différentes catégories de personnels et qui doit faire des propositions au conseil de laboratoire dans un délai de 4 mois. En cette période de grands préparatifs pour la célébration du bicentenaire de la révolution française, cette commission élue le 24 octobre 1988 est baptisée « Constituante ».

30Une des idées fortes de la démarche est de donner davantage de responsabilités et d’autonomie aux jeunes chercheurs, et par là de favoriser leur reconnaissance au niveau national et international et le bon déroulement de leur carrière. Ceci également pour permettre de préparer les départs en retraite de la moitié des responsables de groupe dans les 10 années suivantes. Enfin un objectif majeur est d’améliorer les échanges entre les différents groupes et la cohérence des recherches, pour assurer une meilleure visibilité extérieure. Les réflexions s’orientent assez rapidement vers une organisation en « opérations » regroupant des chercheurs autour d’un projet précis, avec un responsable élu pour 4 ans. Compte tenu de la taille du laboratoire, une vingtaine d’opérations est prévisible, et le regroupement de plusieurs opérations dans un « département » apparaît raisonnable. Un responsable élu est chargé de l’animation scientifique du département et joue un rôle d’interface entre les responsables d’opération et le conseil de laboratoire ou la direction. Un conseil de département est consulté sur les orientations scientifiques, les investissements et décide de la solidarité financière entre les opérations. Les membres de la Constituante jouant parfaitement leur rôle de relais entre la direction et les personnels, une proposition d’organisation se dégage au printemps 1989. Elle aboutira à une répartition des activités en six départements, adoptée par le conseil de laboratoire en décembre 1989.

31Cette réorganisation a effectivement permis un accroissement des prises de responsabilités de jeunes chercheurs, incités ainsi à s’investir plus activement dans la recherche des financements, avec le corollaire d’une inévitable charge de travail supplémentaire.

32Cette structure en départements et opérations évoluera assez peu jusqu’en 2011, si ce n’est par la mise en place d’opérations « transversales » visant à promouvoir la collaboration entre départements. Le premier exemple en est la création en 1993 d’une activité originale sur les alliages de type SiGeC associant des chercheurs de trois des départements de l’IEF. Cette implication accrue des jeunes chercheurs dans la vie du laboratoire a eu des conséquences indirectes sur l’ambiance générale (voir l’encadré 1).

Encadré 1

Des activités sociales renforçant la cohésion du laboratoire

L’idée de la participation du laboratoire à la régate organisée chaque année par le CNRS, lancée en 1991 par l’administratrice Nicole Abrial, a donné lieu à une mobilisation pour trouver les financements, en particulier par la vente de Pin’s, très à la mode à cette époque, dessinés à l’effigie de l’IEF. Des supporters ont fait le déplacement en Bretagne pour encourager l’équipage. En décembre 1992, la première célébration conviviale des nouveaux recrutés et des promus de l’année s’est faite sous forme d’une raclette géante (qui n’a pas manqué de faire sauter les compteurs électriques). L’habitude a été prise et les années suivantes les manifestations ont été organisées par le « BARGEO » (Bureau des Animations et Réjouissances Grandioses et Extra-Ordinaires). On citera le mémorable « Rap de l’IEF » en 1993 et les multiples concours gâteaux. Ces événements sont toujours l’occasion d’échanges certes informels mais qui ont leur importance dans la cohésion du laboratoire.

Les deux dernières décennies

33Les vingt dernières années ont connu une explosion fulgurante des progrès technologiques, et les résultats de recherche obtenus en sont le reflet. Les méthodes de travail et les modes de financement ont également beaucoup évolué au cours de cette période.

  • 23 parmi lesquelles la médaille d’argent du CNRS à Jean-Pierre Renard et le prix Esclangon à Luc Darra (...)

34La qualité des travaux menés a été reconnue dès le début des années 1990 par une série de distinctions23. Le nombre de doctorants s’est rapidement accru, de 53 en 1989 à 90 en 1994, mais les années suivantes sont marquées par une relative désaffection des étudiants. En 1996, le départ du groupe d’Imagerie par Résonance Magnétique pour la création du Laboratoire U2R2M (Unité de recherche en résonance magnétique médicale) fait chuter les effectifs d’une trentaine de personnes. Le nombre de doctorants se stabilise autour de la cinquantaine à la fin des années 1990 jusqu’au début des années 2000 pour remonter vers 70-80 dans les dernières années. La possibilité de financement sur les contrats de l’Agence nationale pour la recherche en facilite le recrutement. Simultanément le nombre d’enseignants-chercheurs augmente légèrement et surtout un nombre croissant de personnels temporaires (CDD, post-doctorants) vient renforcer les activités du laboratoire. L’effectif global passe ainsi d’environ 170 personnes en 1996 à 250 en 2012.

  • 24 Centre d'études et d'enseignement des techniques avancées de microélectronique.

35Avec la création du Ceetam24, les liens avec l’université se sont resserrés et les actions de formations initiales et continues se sont développées. L’université a proposé en 1992 un projet de nouveau bâtiment pour disposer d’un meilleur environnement de travail, en particulier dans le domaine de la microélectronique et des microsystèmes avec de nouvelles installations en salles blanches. Après une étude menée dans un excellent esprit de coopération au niveau du laboratoire, en 1993 les plans détaillés étaient établis, mais malheureusement le changement de doyen de l’université a signé l’abandon de ce projet.

36Au début des années 1990 la recherche se structure au niveau national avec l’apparition de nouvelles actions incitatives, programmes interdisciplinaires, groupements de recherche, etc., dans lesquelles l’IEF trouve sa place. Claire Dupas prend la direction du laboratoire en 1994, et sera remplacée en 2000 par Jean-Michel Lourtioz. Claude Chappert prendra la relève en 2010, mais appelé à d’autres responsabilités, il cède la place en 2012 à André de Lustrac. En 1997 la demande de renouvellement de l’association au CNRS se fait pour la première fois dans le cadre de la contractualisation tripartite CNRS/université/ministère. Corrélativement, les financements sur programme deviennent la règle, alors que les financements directs des tutelles décroissent régulièrement. Les blocages de crédits de 1995-96 ne font qu’accentuer ce phénomène. Les financements sur contrats prennent une part de plus en plus importante, avec une augmentation notable des contrats européens. La région Ile-de-France lance pour la première fois en 1999 un appel d’offre pour le financement de projets de recherche. S’appuyant sur les collaborations existant avec d’autres laboratoires de l’université (en particulier dans le cadre de programmes de pluriformation) dans le domaine des matériaux et celui, émergeant, des nanotechnologies, l’IEF dépose une demande de contrat Plan-État-Région (CPER). Le projet Minerve (Microsystèmes, imagerie, nanosciences, enseignement, recherche, valorisation, entreprise) vise à doter un ensemble de laboratoires de moyens technologiques de pointe dans le domaine des microtechnologies et des nanosciences. De longues négociations commencent, le projet évolue et les financements se mettent en place. De nouvelles salles blanches sont créées et équipées de matériels performants. En 2003 cette centrale de technologie de l’université (CTU), implantée à l’IEF, est reconnue dans le programme national « réseau technologique de base » (RTB) qui double les crédits obtenus, ce qui permet de compléter l’équipement. La CTU est inaugurée officiellement le 24 novembre 2004.

37Le fait de disposer de telles facilités, majoritairement pour les technologies sur silicium, a nécessairement eu un impact sur l’orientation des recherches avec un resserrement des thèmes autour des micro- et nanotechnologies. L’organigramme comporte alors cinq départements et trois opérations transversales dont les intitulés reflètent les évolutions des thèmes scientifiques (voir l’encadré 2).

Encadré 2

Départements de l’IEF dans les années 2000

Magnétisme, Micro et nanoStructures (MMS)

MIcro-NAno-SYStèmes (MINASYS)

Composants pour la Microélectronique et l’Optoélectronique (CMO)

NAnophotonique et ELectronique ultra-rapide (NAEL)

Architecture, Contrôle, Communication, Images, Systèmes (AXIS)

Opérations transversales :

SiGeC et nanostructures

Optoélectronique GaN unipolaire (OptoGaN)

NanoSpinTronic (NST)

38Une volonté du laboratoire a toujours été de maintenir un équilibre entre les recherches les plus fondamentales et les aspects tournés vers les applications, allant de la physique des composants jusqu’aux systèmes.

39La longue expérience acquise en magnétisme a permis au laboratoire de se placer en leader sur la magnétorésistance géante et sur l’électronique de spin pour le développement de mémoires magnétiques à la fois rapides et non volatiles. Les succès de ces équipes ont valu à Claude Chappert la médaille d’argent du CNRS dès 2001.

40Une grande partie des recherches porte naturellement sur les dispositifs semiconducteurs, mettant à profit les installations technologiques de la CTU. Les dimensions très submicroniques des structures, réalisées entre autres en SiGeC au laboratoire25, se prêtent à l’étude des effets quantiques et ouvrent des perspectives pour de nouveaux types de transistors26. Des modèles sophistiqués sont développés pour appréhender les mécanismes physiques dans ce type de dispositifs futuristes. La mise en œuvre de cristaux photoniques27, structures périodiques à l’échelle submicronique, est une source immense de nouvelles applications.

41L’IEF a été réellement précurseur dans le domaine de la microphotonique sur silicium qui a connu au cours des dernières années un essor remarquable au niveau international, entraîné par l’intérêt porté à ce domaine par Intel et IBM28. Plusieurs start-up ont été créées aux États-Unis pour valoriser les progrès dans ce domaine. Certains aspects développés à l’IEF ont été brevetés et les résultats obtenus par Laurent Vivien et Delphine Marris, en collaboration avec le CEA/LETI, sur des détecteurs en germanium29 et des modulateurs haute fréquence intégrés sur silicium30 n’ont rien à envier à ceux des grandes firmes.

42Les activités sur les microsystèmes se sont concentrées sur des micro-résonateurs et des microcapteurs et leur intégration sur silicium. Le contrôle de ces dispositifs a bénéficié du développement d’instrumentation de mesure adaptée31. Un profilomètre-vibromètre a été valorisé par l’intermédiaire d’une PME, Fogale-Nanotech. Des efforts ont été faits pour inclure l’électronique de commande dans la conception des microsystèmes, mettant à profit les compétences en architecture des systèmes. Ces compétences ont également été exploitées pour des réflexions sur les architectures de circuits à base de mémoires magnétiques32 et pour l’étude de systèmes complexes embarqués.

43La grande majorité de ces travaux a été menée en étroite collaboration avec d’autres laboratoires français ou étrangers, académiques ou de grands groupes industriels, très souvent dans le cadre de projets européens (voir l’encadré 3). C’est une évolution très marquée surtout depuis 2005. Cette mondialisation de la recherche, avec la diversification des collaborations, a un fort impact sur les sources de financement mais également sur la nature de la charge de travail demandée aux chercheurs avec la multiplication des demandes de participation à des projets et la complexité croissante de la gestion des crédits.

Encadré 3

Les projets européens

Au niveau régional, le projet Minerve piloté par l’IEF a regroupé les laboratoires de l’université impliqués dans les nanotechnologies, en particulier le Laboratoire de physique des solides, mais aussi les partenaires du pôle francilien Microsystème, dont l’ENS Cachan et l’ESIEE de Marne la Vallée et des laboratoires du Plateau de Saclay (Institut d’optique, UMR Thalès, CEA-DRECAM, SupElec, Soleil). L’implication de l’IEF dans le domaine des nanosciences et nanotechnologies s’est affirmé au cours des dernières années et le laboratoire participe au réseau national RTB (Recherche Technologique de Base). Il a aussi un rôle actif au sein des diverses structures qui ont été créées : Centre de Compétences en Nanosciences Ile-de-France C’nano, RTRA « Triangle de la Physique », Pôle de Recherche et d’Enseignement Supérieur (PRES) UniverSud. Des relations privilégiées existent avec le LPN (Laboratoire de photonique et de nanostructures), actuellement localisé à Marcoussis avec un projet de laboratoire commun qui va voir le jour prochainement. Quant aux aspects « systèmes », ils s’inscrivent dans le pôle de compétitivité System@tic et le Réseau Thématique de Recherche Avancée (RTRA) DiGiTeO. Ce dernier rassemble des laboratoires de l’Université Paris-Sud (LRI, LIMSI, L2S), du CEA, de l’INRIA, de l’École polytechnique et de SupElec.

Le nombre croissant de projets ANR que le laboratoire pilote ou auxquels il participe correspond au développement de nombreuses collaborations avec d’autres laboratoires au niveau national et de partenariats suivis avec le milieu industriel (Alcatel-Lucent, Thalès, ST Microelectronics, et des PME comme Fogale-Nanotech, Jobin-Yvon, etc.). Le CEA/LETI joue un rôle important dans la transition entre les recherches menées avec les moyens technologiques dont dispose l’IEF et la validation d’une faisabilité industrielle. Les actions de valorisation se sont accompagnées du dépôt de 16 brevets entre 2004 et 2008.

Les collaborations internationales sont également nombreuses avec par exemple la participation, de 2006 à 2008, à 25 projets européens sous différentes formes : 6 réseaux d’excellence, 4 projets intégrés, 9 projets de type STREP (Specific Targeted Research Project), 2 projets de technologie émergente (FET), 1 projet jeune chercheur d’excellence (EURYI) et 4 projets incluant des bourses Marie Curie (RTN). Hors Europe, la politique de collaboration s’est également intensifiée avec les États-Unis (programmes NSF-CNRS), le Japon (avec entre autres le laboratoire CNRS LIMMS, Sanken ou le CIRMM), le Vietnam, la Corée (création d’un LIA). Les échanges universitaires et les bourses de doctorat créent depuis longtemps des relations avec les pays du Maghreb et plus récemment avec la Chine, l’Inde ou le Mexique. L’IEF pilote un Groupement de Recherche international sur les nano-micro-systèmes regroupant les partenaires européens, suisses, coréens et japonais.

44La notoriété croissante de l’IEF dans ses domaines de compétence s’est accompagnée d’une implication de plus en plus forte dans le deuxième volet de ses missions, l’enseignement. L’IEF a participé activement à la mise en place des Masters 2 Recherche et/ou Professionnels et y contribue largement : Électronique pour les télécoms et les micro capteurs (R&P), Systèmes embarqués et informatique industrielle (R&P), Systèmes avancés de radiocommunications (R), Réseaux et Télécoms (R&P). Le laboratoire est également l’un des piliers de l’École doctorale « Sciences et Technologies de l’Information, des Télécommunications et des Systèmes ».

L’avenir ?

45L’annonce en 2007 du projet du « Grand Paris » dans lequel le Plateau de Saclay est impliqué a ouvert la perspective de changements notables et de réorganisation de la recherche dans la région. La sélection début 2012 de l’Initiative d’excellence Paris-Saclay par le jury international dans le cadre des Investissements d’avenir est le point de départ d’une profonde transformation dans l’histoire scientifique du Plateau de Saclay. L’Idex Paris-Saclay sera le moteur de la création d’une « université Paris-Saclay » capable d’être rapidement parmi les 20 meilleures universités mondiales. Elle associe des organismes de nature différente : 2 universités, 10 grandes écoles, 7 organismes de recherche et 1 pôle de compétitivité.

46L’IEF ne sera pas absent de cette grande aventure. Dès 2008, le projet de laboratoire commun par fusion de l’IEF avec le LPN (Laboratoire de photonique et de nanostructures), actuellement localisé à Marcoussis, a commencé à prendre forme pour créer un Centre de nanosciences et nanotechnologies sur le Plateau de Saclay. Le nouveau laboratoire doit s’implanter dans des bâtiments neufs construits très prochainement.

47L’IEF aura passé un peu plus de 50 ans dans la vallée du campus d’Orsay de l’université Paris-Sud.

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Notes

1 La vie et l'œuvre de Pierre Grivet, André Blanc-Lapierre, La Vie des Sciences, Comptes rendus, série générale, Vol. 10, n°5, pp 501-508.

2 René Bimbot, « Les années Joliot », La revue pour l’histoire du CNRS, n°16 | 2007, http://histoire-cnrs.revues.org/1597

3 "Les origines de l'Institut d'Électronique Fondamentale d'Orsay, de 1949 à 1962 : une histoire vécue", Interview d'Albert Septier, par André Bouchoule, La revue pour l'histoire du CNRS, n°27-28, Automne-Hiver 2010, pp 75-84.

4 Au millième de degré absolu, un nouvel état de la matière: la superfluidité anisotrope de l'hélium-3, E.Varoquaux, Université Paris-Sud: aspects de la recherche 1978, p. 42.

5 La première observation de l’effet laser, avec un laser à rubis, a été publiée par Maiman en 1960.

6 G. Chartier, C. Aninat, Determination of polarization of light generated by solid laser, Comptes rendus hebdomadaires de l'Académie des Sciences, Vol. 265 B  (15), p.815 (1967).

7 Guy Gautherin, René Masic, Robert Jean Warnecke, Robert Jean, "Device for producing high intensity ion beams", Brevet 812,708, décembre 1971

8 "Le budget du CNRS de 1960 à 2000", Bruno Marnot, La revue pour l'histoire du CNRS, n° 26, 2010, pp 36-41, http://histoire-cnrs.revues.org/9273

9 J-C. Risset a reçu la médaille d’or du CNRS en 1999 pour l’ensemble de ses travaux

10 Rapport d'activité 1977-1978 de l'IEF, message du Directeur

11 Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes.

12 Centre hyperfréquences et semi-conducteurs, devenu l'Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie (IEMN).

13 P. GARDA, F. DEVOS, Rétines électroniques programmables, Le courrier du CNRS, Vol. 76, p. 106 (1990)

14 C. DUPAS, P. BEAUVILLAIN, C. CHAPPERT, J. P. RENARD, F. TRIGUI, P. VEILLET, E. VÉLU, AND D. RENARD, Very large magnetoresistance effects induced by antiparallel magnetization in two ultrathin cobalt films, J. Appl. Phys. 67, 5680 (1990)

15 G. GAUTHERIN, C. SCHWEBEL, Deposition of thin films by ion beam sputtering : mechanisms and epitaxial growth, AIP Conf. Proc., Vol. 167, p. 273 (1988)

16 R. P. De CARVALHO, N. DJEBBAR, J. GUTIERREZ, A. VAPAILLE, Silicon MBE : use of microion source for doping by low energy implantation, Journ. Vacuum Science and Technology, Vol. B5(2), p. 515 (1987)

17 S. LAVAL, C. BRU, C.ARNODO, R.CASTAGNE, Velocity overshoot investigations in sub-micron devices by photoconduction experiments, IEDM, Washington (USA), 1980, Proc. p. 626 (1980).

18 P. CHAVEL, S. LAVAL, J. TABOURY, L'Optique dans l'Ordinateur, Rev. Phys. Appl., 22, (1987), 1215.

19 BUDIN, JP; BOULMER, J; DEBARRE, D, Laser-assisted processes in the microelectronic industry, Thin Solid Films, 175, pp.109-118 (1989)

20 J-M. LOURTIOZ, L. CHUSSEAU, N. STELMAKH, "Picosecond and subpicosecond pulse generation in semiconductor lasers", J. Phys. III, Numéro Spécial "Diodes lasers", 197-214, (1992)

21 DD. YANG, FH. JULIEN, JM. LOURTIOZ, P. BOUCAUD, R. PLANEL, 1st demonstration of room-temperature intersubband-interband double-resonance spectroscopy of GaAs/AlGaAs quantum-wells, IEEE Photonics Technology Letters, Vol. 2(6), pp. 398-400 (1990)

22 BITTOUN, J; TAQUIN, J; SAUZADE, M , A computer algorithm for the simulation of any nuclear magnetic resonance (NMR) imaging method, Magnetic resonance imaging, Vol. 2 (2), pp. 113-20 (1984)

23 parmi lesquelles la médaille d’argent du CNRS à Jean-Pierre Renard et le prix Esclangon à Luc Darrasse et Hervé Saint-Jalmes en 1990, le prix Seymour Cray à Bernard Zavidovique, Francis Devos et Patrick Garda en 1991, le prix de l’Électronique du Général Férié à Jean-Michel Lourtioz en 1992, le cristal du CNRS à Daniel Bouchon en 1993, la médaille de bronze du CNRS à Patrick Bruno en 1994, le prix Yves Rocard SFP à Jean Aubert et Christian Schwebel 1995, la médaille Blondel de la SEE (Société des Électriciens et Électroniciens) à Pierre Beauvillain en 1993, François Julien en 1998, Niikolai Stelmakh en 2002, Anne-Marie Haghiri-Gosnet en 2005, le prix EURYII à Raffaele Colombelli en 2004, etc.

24 Centre d'études et d'enseignement des techniques avancées de microélectronique.

25 P. Boucaud, C. Guedj, D. Bouchier, et al., Optical properties of bulk and multi-quantum well SiGe:C heterostructures, Journal Of Crystal Growth, Vol.157 (1-4), pp. 410-413 (1995)

26 P. Dollfus, S. Galdin, ME. Arbey, ME et al., Study of uniform and graded SiGe channel heterojunction p-MOSFETs using Monte Carlo simulation, Thin Solid Films Vol. 294 (1-2), pp. 259-262 (1997)

27 J-M. Lourtioz, H. Benisty, V. Berger, J-M. Gérard, D. Maystre, A. Tchelnokov, "Photonics Crystals" Springer-Verlag 2008

28 S. LAVAL, Optical interconnects: the challenge, C.R. Acad. Sci. Paris, 1, série IV, pp. 941-949 (2000).

29 L. Vivien, J.Osmond, J-M. Fédéli, D. Marris-Morini, P. Crozat, J-F. Damlencourt, E. Cassan, Y. Lecunff, and S. Laval, 42 GHz p.i.n Germanium photodetector integrated in a silicon-on-insulator waveguide, Optics Express, Vol. 17, Issue 8, pp. 6252-6257 (2009)

30 D. Marris-Morini, L. Vivien, J-M. Fédéli, E. Cassan, P. Lyan, S. Laval, Low loss and high speed silicon optical modulator based on a lateral carrier depletion structure, Optics Express, Vol. 16, Issue 1, pp. 334-339 (2008).

31 I. Lyuboshenko, A. Bosseboeuf, A new technique for 3D profilometry of MEMS, Proceedings of the Society Of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE), Vol. 6111, pp. V1110-V1110, Article n° 61110V (2006)

32 J-O. Klein, E. Belhaire, C. Chappert, R. Cowburn, D. Read, D. Petit, "Synthesis methodology for magnetic domain wall logic", International Journal of Electronics, vol. 95, num. 3, p. 249, 263 pages, 2008

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Pour citer cet article

Référence papier

Suzanne Laval, « L’Institut d’électronique fondamentale, cinquante ans d’histoire », Histoire de la recherche contemporaine, Tome II - N°1 | 2013, 70-81.

Référence électronique

Suzanne Laval, « L’Institut d’électronique fondamentale, cinquante ans d’histoire », Histoire de la recherche contemporaine [En ligne], Tome II - N°1 | 2013, mis en ligne le 15 juin 2015, consulté le 24 juin 2017. URL : http://hrc.revues.org/756 ; DOI : 10.4000/hrc.756

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Auteur

Suzanne Laval

Ancienne élève de l’ENS de Fontenay-aux-Roses, agrégée de physique, Suzanne Laval a été directrice de recherche au CNRS. Elle a dirigé l’IEF (Institut d’électronique fondamentale) de 1986 à 1994. Elle a lancé les premières études, au niveau international, qui ont conduit à l’essor actuel de la photonique sur silicium.

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Droits d’auteur

© Comité pour l’histoire du CNRS

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